特性：
1. 採用中文視窗作業系統，操作性簡便。
2. 厚度測量極限:解析度0.001um。
3. 可測試項目:單層膜厚、雙層膜厚、三層膜厚、化學鎳膜厚、 鉛合金膜厚及組成、壓鑄鋅  上鍍銅、 二層同時測定、元素光譜分析。
4. 油浸式微小焦點X線管，50KV管電壓，由上而下垂直照射方式。
5. 採用多頻分析器，可快速處理能譜分析，可執行測定物之能譜分析表示，操作簡單。
6. 濾波器:採用Co、Ni金屬及數位式濾波器，可單一或同時使用。
7. 准直器：採用5種孔徑一體式之Collimator(可設定任意切換方式)。
8. 彩色樣品觀察系統，附有＋字刻度線，清楚顯示測定位置。
9. 客戶、各部品番號、批號，可登錄在頻道內，共有300個測量頻道數。
10.自動測定測量台，可使利用滑鼠或搖杆來輸入及調整測定位置，可登錄儲存100組自動測定頻道，可作座標補正及頻道連結。
11.採用中文視窗作業軟體，設計及列印測量報告，插入測量位置的彩色圖片、非常容易。
12.可作數據統計處理及三次元之分佈圖案。
13.自動診斷機能，故障排除對策迅速。附有X線管的使用時間及壽命表示機能，加強保養的安全性。
14.測定資料可保存在頻道內，在統計專案設定後可做統計處理。
適合行業：IC業、電鍍業、電子業、精密工業、PCB業、裝飾業。